CM505无尘室气体监视器
型号: CM505
用于半导体工厂的CM505无尘室气体监视器
产品信息
随着LSI集成度的提高，以及大型FPD生产的推动，清除无尘室中氨气和酸性气体等气体污染物，显得日益重要。为满足此要求，监视气态污染物，并定期检查化学过滤器的化学性能十分重要。为达到此目的，通常采用的测试方法是尘埃器测定法。然而，传统的尘埃器测定法不适合长期测量，且会由于操作员引起交叉污染。
CM505无尘室气体监视器通过尘埃器测定法实现无污染在线气体监视，测量时间为1个小时。还可选用多光束型(16点)。该系统可根据要求监视氨气(或阳离子)和酸性气体(阴离子)。
特性
- 通过尘埃器进行气体采样，同时采集气体和颗粒/雾状污染物。
- 氨气测量灵敏度达到0.01µg/m³。
- 酸性气体(HCl，SO2，NO2)测量灵敏度同样可达到0.02µg/m³。
- 系统可根据要求监视硼酸，F-和有机酸(CH3COO-，HCOO-)。
- 全自动系统及无人测量。
- 采用高可靠的分析方法，即离子色谱法。
- 可选化学过滤器生命周期预测软件和多光束切换型(最多16点)。
规格
| 测量 |
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| 气体采样方法 | 尘埃器测定法 | |||||
| 分析方法 | 离子色谱法 | |||||
| 测量量程 |
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| 最小检测限制 |
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| 测量周期 | 最短60分钟或90分钟 | |||||
| 测量点 | 一点或最多16点(选配件) | |||||
| 标定 | 使用标准溶液标定，自动标定 | |||||
| 外部接点输入 | 测量流路切换信号，外部报警信号，外部报警复位信号 | |||||
| 外部接点输出 | 异常浓度信号(用于每种流体，继电器接点)， 系统报警信号(继电器接点)，测流信号(二进制，继电器接点)，重测信号(继电器接点)，液体泄漏信号(继电器接点)，报警蜂鸣信号，报警发光信号 |
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| 电源 | 100～120V AC，50/60Hz | |||||
| 重量 | 根据规格不同，约为150～180kg |
