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无尘室温度监视
在半导体制造过程中,洁净度不足的无尘室环境会导致失败和资源浪费,所以,一个严格控制的无尘室是必不可少的。
维护无尘室的环境需要控制空气过滤器、HVAC系统、室温、湿度、空气微尘及其他因素。
在远程监视的应用中,MW100数据采集控制器提供完整的性能,只需在网络浏览器上键入单元的URL即可访问数据。除了可以远程收集数据文件之外,还有电子邮件功能可以用于通知异常的发生。
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