传感器

机架安装时根据测量对象，可以从β射线、X射线、红外线中选择最合适的传感器。3种都是非接触式传感器，可以在不损害测量对象的情况下，进行高精度、连续测量。

测量范围:
- β射线传感器 (测量范围: 0～5000g/平方米@铝)
- X射线传感器 (测量范围: 0～1200g/平方米@铝)
- 红外线传感器 (测量范围: 0～2000μｍ@PP)

β射线传感器

用放射源放射出来的放射线照射被测物，根据放射线透过被测物时的能量衰减，进行厚度(面密度)的测量。只要被测物的厚度在β射线传感器厚度的测量范围之内都可以用β射线传感器进行测量。

• 根据测量对象，选择最适合的放射源
  放射源有147Pm(钷)、85Kr(氪)、90Sr(锶)，根据测量对象选择最适合的放射源。
• 高精度测量
  根据穿透式传感器的原理，在进行被测物测量时，同时也对空气层进行了测量。为了避免空气层的影响，设置了(Air Purging)空气吹扫机构。对空气层温度进行补偿，从而使空气层的温度与密度时常保持一定基准。而且以“放射源衰减自动补偿功能”、“抑制放射源统计噪声(statistical noise)处理功能”等多种控制算法常时进行调整，实现稳定、高精度测量。

X射线传感器

用X射线管放出的X射线照射被测物，根据X射线透射被测物时的能量衰减来测量厚度(面密度)。X射线传感器根据被测物的原子量的不同，其透射率也会不同。特别是对于金属系列元素的透射率是较高的，因此经常用于陶瓷薄膜(MLCC等)、电池电极等IT领域的原材料测量。

• 具有稳定、大输出功率的X射线管
  在X射线管领域里，横河电机开发出了同时具有“出色稳定性”与“大功率输出”特性的X射线传感器专用的反射式3极管。实现了稳定、高输出。
• 高精度测量
  安装使空气层的影响控制到最小限度的(Air Purging)空气吹扫机构。根据此对空气层温度进行补偿，使空气层的温度与密度常时保持一定基准，进行稳定、高精度测量。

红外线传感器

用红外线光源放出的红外线照射被测物，根据红外线透射被测物时的能量衰减来测量厚度(面密度)。红外线传感器对于CH基的透射率较高，因此广泛应用于薄膜、薄板的测量。

• 无需更换的光源
  红外线发光部采用了红外线传感器专用的电热线，具有半永久性寿命。选择对被测物厚度透射率高的波长带通滤波器，测量其厚度。
• 高精度测量
  除了使用透射式波长带通滤波器以外，通过使用其他种类的波长带通滤波器，可对不透明、色彩、环境温度的变化进行校正，使其影响最小化，进行稳定、高精度测量。