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YOKOGAWA

横河电机(中国)有限公司

浓度测量

所属行业: 电力 电子
产品: 感应式电导率仪

应用简介

测量显影液和氟酸的浓度

半导体工厂中,在不同制造过程中使用各种不同的化学品。具有特殊用途的化学制品通常在稀释容器中用软水稀释原液得到,此稀释过程中采用电导率仪测量控制稀释的浓度。ISC202和ISC402感应式电导率仪能进行高精度测量,它们的环形探头ISC40由加固的PEEK(聚醚醚酮)材料密封,可以耐受最苛刻的应用条件。在稀释配制系统的化学制品浓度控制中,使用ISC202/ISC402实现高可靠的测量。ISC202和ISC402感应式电导率仪也能够在排水控制和各种生产过程的废液处理中发挥重要作用。

预期效益

  • 易于控制氟酸浓度
  • 降低运行成本
  • 耐腐蚀接液部件寿命长

过程概述

到目前为止,半导体工厂所购买的化学制品事先由化学工厂稀释,以适于专门的应用。然而,由于半导体市场的价格竞争日益激烈,亟需降低生产成本。因此,需要复审生产过程所用的每个化学制品,确保实质利润和大范围的成本降低。

在各公司安装稀释配制系统,取代从化学品生产公司订购不同浓度的化学制剂。尽管原料化学制剂的价格及稀释后的化学制品价格并没有显著差异,但是可以使用便宜的软水稀释到各种所需浓度,从而降低成本。

解决方案

测量系统
两线制感应式电导率仪系统
传感器 ISC40GJ-GG-T1-☐☐/Z Z: 特氟隆涂层
流通型支架 ISC40FFJ-PJ/Z Z: 特氟隆涂层
变送器 ISC202G-1-E
变送器专用配电器 PH201G-A☐*B
   
四线制感应式电导率仪系统
传感器 ISC40GJ-GG-T1-☐☐/Z Z: 特氟隆涂层
流通型支架 ISC40FFJ-PJ/Z Z: 特氟隆涂层
转换器 ISC402G-C-1-☐-E

现场数据

测量示例

测量示例

公共条件

ISC202G感应式电导率仪变送器
  电源电压: 17 - 40 V DC(来自配电器)
  功耗: 最大0.9 VA
 
PH201G配电器
  电源: 100 V: 20~130 V DC/80~138 V AC, 47~63 Hz
    220 V: 120~340 V DC/138~264 V AC, 47~63 Hz
  功耗: 24 V DC: 约200 mA
    100 V AC: 约7 VA
    220 V AC: 约11 VA
 
ISC402G感应式电导率转换器
  电源: 100 V AC ±15%, 50/60 Hz
    115 VAC ±15 %, 50/60 Hz
    230 VAC ±15 %, 50/60 Hz
  功耗: 最大10 VA