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Vantage（バンテージ）社製　SlurryScope（スラリースコープ）販売代理店

Vantage（バンテージ）社製　SlurryScope（スラリースコープ）販売代理店

当社は、米国Vantage社製「SlurryScope」(スラリースコープ）の日本国内での正規代理店となりました。「SlurryScope」は、従来の測定器にはない画期的な特徴を備えたCMP向けリアルタイム連続スラリー粒子モニタリングシステムです。

導入のメリット

SlurryScope CMP向けリアルタイム連続スラリー粒子モニタリングシステム

1) 収率の改善とスクラッチの防止
2) No sampling ：スラリーを希釈せず連続測定
3) 制御範囲の制限に対しすぐにアラーム
4) CMPプロセス制御の改善
5) CMPプロセスとスラリー供給との相関関係
6) 連続粒子トラッキングのオープンインターフェース
7) PCインターフェースのためのユーザーに優しいGUI
8) オートキャリブレーション
9) 粒子サイズの分布と研磨レートの改善
10) スラリーの直接測定は希釈することで起こるpHショックや希釈ミス、浪費を排除

仕様及び資料

お問い合わせ先

〒１9０-8586　東京都立川市栄町6-1-3
横河フィールドエンジニアリングサービス株式会社
半導体サービス本部　営業部営業Gr
TEL:042-534-1194　FAX:042-534-1189

Distributor of Vantage's SlurryScope

YFE is Authorized Distributor of Vantage's SlurryScope in Japan."SlurryScope" is a real-time continuous slurry particle monitoring system for CMP and is a remarkable
instrument different from other conventional ones.For that product sales in Japan, please contact us.

BENEFITS
1) Improve yield and prevent wafer scratching
2) No sampling - Continuous monitor of slurry flow undiluted
3) Immediate alarming of control limit
4) Improve CMP process control
5) Correlation of slurry delivery to wafer CMP processing
6) Open interface for continuous particle tracking
7) User friendly GUI – for PC interface
8) Auto-calibration
9) Improved control of particle size distribution and polishing rate
10) Direct measurement of the slurry eliminates dilution problems such as pH shock, dilution errors and waste stream

Contact For comments, requests, and inquiries regarding Vantege products, please contact us at:
yfe-semi-sales@cs.jp.yokogawa.com