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前工程（エッチャー・横型拡散炉・CMP）
内容によりお問い合わせ先が変ります。
営業受付
「サービス維持契約」や部品のご注文などについて
〒190-8586 東京都立川市栄町6-1-3
横河フィールドエンジニアリングサービス株式会社
半導体サービス本部 営業部営業Gr
TEL:042-534-1194 FAX:042-534-1189
サービス受付 / 修理受付
サービスのご提供は当社との「サービス維持契約」が必要となります。「サービス維持契約」締結のお客様は専用回線へお手元にID及びパスワードをご用意の上ご連絡ください。
「サービス維持契約」に関しては、上記お問い合わせ窓口（営業受付）までご連絡下さい。
テスタサービス
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中古テスタ＆中古カードについて
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横河グローバルレスポンスセンター（GRC）
LSIテストシステム専用連絡先 tokyo-ate@csv.yokogawa.co.jp
「装置廃却・売却」情報募集
装置廃却・売却情報に関するご意見・ご要望がございましたら、下記へお問い合わせ下さい。なお装置廃却・売却に関する有力な情報をお寄せ頂いたお客様には、粗品を進呈させて頂きます。
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Inquiry concerning for the cooperation or transfer of ｓemiconductor ｅquipment service as follows, please.
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