部品（パーツ）販売

お客様に可能な限り短納期で納品できるよう、部品※1を豊富にストックしております。また、入庫時・出庫時ともクリーンルームにおいて現品確認を行い出庫するなど、品質維持・向上に努めています。さらにお客様への納品時は、梱包材のリサイクルなど環境にも配慮しています。

なお緊急部品発送依頼書・緊急手配のご依頼につきましては、緊急部品発送依頼書（PDF） にご記入の上、FAXをお願いします。（ただし緊急部品発送依頼書は緊急手配専用ですので、後日正式発注のお手続きを実施下さい。）

【ご連絡先/ご注文先】

〒190-8586　東京都立川市栄町6-1-3

横河フィールドエンジニアリングサービス株式会社

半導体サービス本部　営業部営業Gr

TEL:042-534-1194　FAX:042-534-1189

• ※1
  • 東京エレクトロン様（エッチャー・横型拡散炉・液晶用塗布現像装置）
  • Lam Research様（エッチャー）
  • 住友金属様（エッチャー・アッシャー・CMP装置）
  • Strasbaugh様（CMP装置）