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Veeco（ビーコ）社製　Piezocon®（ピエゾコン）, Piezocon® Precision Gas Mixing System （ＧＭＳ）販売代理店

Veeco（ビーコ）社製　Piezocon®（ピエゾコン）, Piezocon® Precision Gas Mixing System （ＧＭＳ）販売代理店

Piezoconガス濃度センサ

Piezocon濃度センサ

世界中で 2,800 台以上を導入した生産実績のある Piezoconシステムには、以下のような利点があります。

1)プロセスガスと原料蒸気の厳密な供給制御によるプロセス再現性と歩留が向上します。
2)液体原料の有効利用、使用期間の拡大、交換頻度の減少により運用コストを削減します。
3)g/minまたはmole/minで定量的な測定情報を提供します。これにより装置間整合は、容易に行えます。
4)種々のデータログが可能です。また、異常を検知する自己診断機能を有してます。

Piezocon精密ガス混合システム Piezocon® Precision Gas Mixing System

Piezocon精密ガス混合システム

Piezocon® 精密ガス混合システム(GMS)は、高度な濃度制御によりガス混合物を生成して、厳密なプロセス制御および高い歩留りを実現します。
また、混合濃度のアクティブ制御により、上流濃度の変化やドリフトを補償します。

Piezocon® 精密ガス混合システム（GMS）の利点：

1)ボンベ交換後に行う装置の再最適化作業が不要です。
2)ボンベの残量依存による濃度変化の調整作業が不要です。
3)複数濃度のボンベを所持する必要が無く、また、そのためのボンベ交換作業も不要です。
4)ほとんどのドーパント材料および液体原料ガスに適応させることが可能です。
－アルシン、ジボラン、ゲルマン、ホスフィン、シラン etc.
5)インターフェース画面は至ってシンプルで操作が容易です。－材料ガスと希釈ガスはプルダウンより選択－所望の希釈濃度を入力

GMS導入事例その１（H2ガスによる B2H6 50ppm精密希釈） :

Piezocon 精密ガス混合システム（GMS）は、1%のドーパントガス（B2H6）と希釈ガス（H2）から±0.5 ppmの精度で50 ppmに希釈したドーパント混合ガスをバッファータンク内で生成し、
安定供給させることが可能です。

GMS 導入事例1

GMS導入事例その２（1% PH3ボンベ交換前後における 50ppm希釈時のＳｉ比抵抗値特性）：

ボンベ交換時による急激なガス濃度変化に対しても瞬時に補正を行うため、製品ＱＣの維持確保に寄与します。

GMS 導入事例2

仕様及びパンフレット

経緯

米国Veeco社製「Piezocon®」と「Piezocon® Precision Gas Mixing System」の日本国内での正規代理店となりました。
「Piezocon®」ガス濃度センサは、CVDおよびMOCVDプロセスツールにおいて原料蒸気およびドーパントガスを正確にモニタリングし、高い再現性で供給制御する際に使用されるセンサとして、半導体メーカー業界標準となっております。
日本における本製品のご購入につきましては当社までお問合せ下さい。

お問い合わせ先

〒１9０-8586　東京都立川市栄町6-1-3

横河フィールドエンジニアリングサービス株式会社

半導体サービス本部　営業部営業Gr

TEL:042-534-1194　FAX:042-534-1189

Distributor of Veeco's Piezocon&Precision Gas Mixing System (GMS)

With over 2,800 installations worldwide, the Piezocon® system is widely used by silicon and compound semiconductor and wafer manufacturers because it provides:

1)Improved process reproducibility and increased yield by tightly controlling the delivery of process gases and of precursor chemical vapors.
2)Lower cost-of-operation by allowing more effective use of precursor chemicals, extending the use of precursor chemical sources and reducing the duration of flow to vent.
3)Easier tool-to-tool matching with quantitative information directly meaningful to equipment and process engineers.
4)Assistance in trouble-shooting malfunction of gas and vapor delivery systems by using built-in diagnostic utilities.

Precision® gas mixing system (GMS) generates gas mixture with improved concentration control for tighter process control and higher yield. In addition, Piezocon ® (GMS) compensate for changes or drifts in upstream concentration.

YFE is Authorized Distributor of Veeco's Piezocon® sensor, and Piezocon® Precision Gas Mixing System (GMS) in Japan. The Piezocon® sensor is a standard within Semiconductor industry for reproducible vapor delivery monitoring system, and accurate control system of chemical precursor vapors and dopant gases for CVD and MOCVD process tools.

Contact For comments, requests, and inquiries regarding Veeco products, please contact us at:
yfe-semi-sales@cs.jp.yokogawa.com