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標準圧力発生器

MC100

測定原理

シリコンレゾナントセンサ

大河内記念賞、経団連会長賞受賞

シリコンレゾナントセンサ


高い感度と分解能、及び優れた長期安定性が得られます。
振動子が真空状態に置かれているため、振動エネルギーの放散が減少し、単結晶シリコンの優れた弾性特性と相まって高いQ値を得る事が出来ます。

温度依存性が極めて小さい。

2個の振動子を使用し、圧力は2つの固有振動数の差から求める作動構成を採っており、周囲温度のような外部環境の影響を相殺できます。また振動子が真空状態にあり、周囲温度や湿度などの影響を受けません。