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ミニマノメータ MT10

MT10

測定原理

高信頼性、高安定性

圧力測定のセンサには、大河内記念賞、経団連会長賞受賞のシリコンレゾナントセンサを 採用しております。
シリコンレゾナントセンサとは

圧力センサは自社開発した最先端シリコンマイクロ加工技術のシリコンレゾナントセンサを採用しています。検出部はシリコン単結晶を用いており、従来の金属センサに比べて再現性に優れ、経年変化が小さいので安定性の高い測定が可能となりました。

シリコンレゾナントセンサ