1915年：建築家・工学博士横河民輔が、東京府渋谷町に電気計器研究所を創立
1916年：「横河電機製作所」と改称
1917年：電気計器を発売。日本の電気計器国産化の先駆けとなる
1919年：測定器の研究製作を開始
1920年：株式会社化。（株）横河電機製作所と称す
1921年：測定器を発売
1924年：日本初の携帯用電磁オシログラフ完成
1933年：流量、温度、圧力等の自動調整装置の製造を開始
1935年：本社を吉祥寺（現本社所在地）へ移転
1949年：東京証券取引所に上場
1966年：国産のプロセスガスクロマトグラフを初出荷
1969年：世界で初めて渦流量計を開発・発売／坪量・水分計「B/M計」発売
1970年：QCサークル活動スタート
1974年：甲府事業所操業開始
1981年：YOKOGAWAの新しい生産方式としてNew Yokogawa Production System（NYPS）活動スタート
1983年：「北辰電機製作所（株）」と合併し、「横河北辰電機（株）」発足
1986年：「横河電機（株）」に社名を変更。コーポレートブランドを「YOKOGAWA」に変更
1988年：駒ヶ根事業所操業開始／小峰事業所操業開始
1991年：世界初シリコンレゾナントセンサー方式による差圧・圧力伝送器発売
1992年：フィールド機器、科学センサー機器などの単品製品において品質マネジメントシステムISO9001の認証取得
1994年：横河電機（株）の各事業部が持つ生産機能を集約し、「生産事業部」発足
1997年：調達・物流機能会社として、「横河トレーディング（株）」設立／甲府事業所で環境マネジメントシステムISO14001の認証取得
1998年：本社、小峰事業所で環境マネジメントシステムISO14001の認証取得
2001年：生産技術と生産管理のノウハウを集約し、国内関連会社を統合、生産機能会社として「横河エレクトロニクス・マニファクチャリング（株）」設立
2005年：横河エレクトロニクス・マニファクチャリング（株）と横河トレーディング（株）が統合し「横河マニュファクチャリング（株）」を設立／金沢事業所竣工
2008年：技能五輪全国大会「切削加工」部門に初出場
2009年：「グリーンITアワード経済産業大臣賞」受賞
2010年：世界で初めて無線通信規格ISA100.11aに準拠した無線フィールド機器を発売
2014年：「省エネ大賞（審査委員会特別賞）」受賞／新しいものづくりへの挑戦「次世代工場構築プロジェクト」発足
2018年：横河電機（株）グローバル生産センター機能を統合、YOKOGAWAグループの海外生産会社が管理下となる
2019年： 2019年度文部科学大臣賞「創意工夫功労者賞」を受賞／経済産業省「健康経営優良法人認定制度」に初認定
2021年： 労働安全衛生マネジメントISO45001の認証取得
2022年： 健康優良企業として「銀の認定」を取得
2025年：「省エネ大賞（省エネルギーセンター会長賞）」受賞