半导体设备解决方案
横河电机的优势
横河电机在测量、控制和信息领域提供先进的“母工具”已有100多年的历史。依托这一历程中积淀的企业文化、经验和技术，我们在设备解决方案领域拥有显著优势；我们能够提供支撑半导体设备的综合信息系统、控制器、传感器及测量仪器，这些产品皆可作为母工具发挥作用。
详细介绍
半导体制造工艺
借助e-RT3 Plus实现从集中控制到分布式控制的转变，从而缩短节拍时间
客户的问题
1. 由于单PC配置设计复杂，腔室定制化困难，无法针对各终端用户的应用需求进行匹配设计。
2. 使用单PC时，随着腔室数量增加，实时控制无法正常工作（并发控制时会出现延迟）。
解决方案
1. 在每个腔室中安装边缘控制器，降低PC负载
2. 通过多台e-RT3实现实时控制
3. 稳定供应
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