อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ

กระบวนการผลิตสารกึ่งตัวนำ

 

การควบคุมแบบรวมศูนย์ไปจนถึงการควบคุมแบบกระจายเพื่อลดเวลาการทำงานด้วย e-RT3 Plus

 

ปัญหาของลูกค้า

1. การปรับแต่งห้องเพาะเลี้ยงทำได้ยากเนื่องจากมีการออกแบบที่ซับซ้อนด้วยการกำหนดค่าพีซีเพียงเครื่องเดียว
การออกแบบที่ตรงกับแอปพลิเคชันของผู้ใช้แต่ละรายนั้นเป็นไปไม่ได้
2. ด้วยพีซีเครื่องเดียว การควบคุมแบบเรียลไทม์จะไม่ทำงานอย่างถูกต้องหากจำนวนห้องเพาะเลี้ยงเพิ่มขึ้น
(ความล่าช้าเกิดขึ้นที่การควบคุมพร้อมกัน)

 

วิธีการแก้

1. ลดภาระของพีซีโดยการติดตั้ง Edge Controller ในแต่ละแชมเบอร์
2. ตระหนักถึงการควบคุมแบบเรียลไทม์ด้วย e-RT3 หลายตัว
3. อุปทานมีเสถียรภาพ

 

หน้าผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง

FA-M3 (ตัวควบคุมลอจิกแบบโปรแกรมได้)
e-RT3 (ตัวควบคุมเครื่องจักรที่ใช้ OS แบบเรียลไทม์)
เครื่องบันทึกข้อมูล (SMARTDAC+) (การเก็บรวบรวมข้อมูล)
เครื่องวัดอัตราการไหล (YEWFLO, ADMAG)
เครื่องวิเคราะห์ก๊าซ (NR800)
เครื่องวิเคราะห์ออกซิเจน (OX400)
เครื่องควบคุมอุณหภูมิ (UTAdvanced)
ส่วนประกอบ (VZ20X)
การทดสอบและการวัด