반도체 장비를 위한 솔루션
Yokogawa의 강점
Yokogawa는 100년 이상 계측, 제어, 정보 분야에서 최첨단 ‘마더 툴(Mother Tools)’을 제공해 왔습니다. 이러한 역사 속에서 축적된 기업 문화와 경험, 기술력을 바탕으로 장비 솔루션 분야에서 차별화된 경쟁력을 확보하고 있습니다. Yokogawa는 반도체 장비를 뒷받침하는 마더 툴로서, 통합 정보 시스템부터 컨트롤러, 센서, 계측기기에 이르기까지 폭넓고 종합적인 솔루션을 제공합니다.
Details
반도체 제조 공정
e-RT3 Plus를 활용한 중앙 집중 제어에서 분산 제어로의 전환을 통해 택트 타임(Takt Time) 단축
고객의 문제점
1. 단일 PC 구성의 복잡한 설계로 인해 챔버 커스터마이징이 어려움
각 엔드유저의 애플리케이션에 최적화된 설계 구현이 불가능함
2. 단일 PC에서 챔버 수가 증가할 경우 실시간 제어 성능 저하
(동시 제어 시 지연 발생)
솔루션
1. 각 챔버에 Edge Controller를 적용하여 PC 부하 감소
2. 다수의 e-RT3를 활용한 실시간 제어 구현
3. 안정적인 시스템 운영 및 공급 실현
관련 제품 페이지
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